D6F系列傳感器擁有引以為傲的高靈敏度，如蝴蝶振翼產生的微小氣流，在規格書所標的環境溫度和壓力范圍下，也能準確檢測。D6F系列傳感器主要有三種類型，包括流量傳感器、流速傳感器、差壓傳感器。其測試原理如圖所示，在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱；如有氣體流動，在氣體流動的狀態下熱電堆發生變化，將溫差作為熱電堆的電動勢之差進行傳感，從而具有高靈敏度，可以準確檢測微小的氣體流量。

D6F-PH有兩種使用方法，一種是直接連接管道，連接兩個氣體腔，直接測定氣體腔的壓力差。另一種是通過旁路設計的方式間接連接，檢測管道的流量值，進行從差壓到流量的轉換計算。歐姆龍流量傳感器的系列產品陣容十分豐富，適用于不同的應用需求。今天要介紹的D6F-PH系列是D6F 歐姆龍MEMS流量傳感器家族差壓型分類的成員。

D6F-PH可以用于檢測不含灰塵、油污、油霧等物質的干燥空氣的壓差， 不僅使用方便，且因采用高流量阻抗有效降低旁路配置影響，比直接流量傳感器擁有更高性價比。

歐姆龍D6F-PH具備直線補償、溫度補償功能，通過ASIC的線性溫度補償實現D6F-PH的精度為3%RD（25~100% F.S），特別是在低壓范圍內的精度更好。相對于一般的差壓傳感器的FS精度保證，歐姆龍D6F-PH為RD精度保證，幫助設備實現更高精度的測量。

根據用戶的不同需求，D6F-PH系列差壓傳感器，擁有三檔測量范圍：0~250Pa、-50~50Pa、-500~500Pa。針對超微差壓檢測，歐姆龍MEMS流量傳感器推出了±50Pa的規格。

體積小，重量輕、產品設計結構靈活，是MEMS傳感器與傳統傳感器相比的核心優勢，D6F-PH系列差壓傳感器繼承了MEMS傳感器的基因，加載了小尺寸（1.55mm x 1.55mm，厚0.4mm）的流量傳感芯片的它尺寸僅18mm x 16mm x 20.8mm，產品小型化可適用于空間狹小的應用場景中。

D6F-PH系列差壓式傳感器有兩種封裝方式，可采用基板連接和連接器連接。全新推出的歧管接頭不需要管道可配管直接連接。不同規格的連接方式，為客戶提供更高自由度的設計。

可應用于：氣體檢出器/分析裝置、微差壓計、VAV控制器、熱交換器。此外，還可以應用在醫療器械方面，比如制氧機等。

歐姆龍MEMS傳感器在傳感技術和工藝方面擁有獨特的優勢，與不同行業的客戶深入合作，推出創新的傳感器產品，致力于將“感知”的觸角伸向物聯網的每個角落，讓我們的未來生活更智能。